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一种分析仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。该仪器将高度聚焦的电子束聚焦在矿物上，激发组成矿物元素的特征X射线。用分光器或检波器测定荧光X射线的波长，并将其强度与标准样品对比，或根据不同强度校正直接计数出组分含量。

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电子探针优点1、能进行微区分析。可分析数个μm^3内元素的成分。2、能进行现场分析。*把分析对象从样品中取出，可直接对大块试样中的微小区域进行分析。把电子显微镜和电子探针结合，老化架价格，可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成分联系起来。3、分析范围广。Z>4.其中，波谱：Be~U，能谱：Na~U。